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类别:行业资讯 发布时间:2024-07-26 12:41:50 浏览: 次
石英坩埚(QuartzCrucible,QC)是石英玻璃成品中的细分产物,由高纯石英砂kb体育,通过模具定型,操纵电弧法高温制制而成,具有耐高温、操纵时候长、高纯度等特性,石英坩埚重要用于半导体高纯单晶硅棒的拉制的辅助性耗材,是单晶硅棒拉制进程顶用于盛装熔融硅液的环节一次性泯灭品。遵照单晶硅棒的下逛行使场景可将石英坩埚分为半导体单晶硅滋长用石英坩埚(半导体石英坩埚)与光伏单晶硅滋长用石英坩埚(光伏石英坩埚)。
石英坩埚的构制分为不透后层、真空透后层及内涂层。不透后层平日由自然石英砂制成,内部含有大批平均漫衍气泡,具有保温结果,可使石英坩埚平均受热。真空透后层平日由自然石英砂制成,内部不含气泡且平均致密,具有抗变形以及断绝硅液与气泡层的效率。内涂层平日由高纯合成石英砂、高纯自然石英砂或普及石英砂制成,半导体石英坩埚对内涂层的石英砂的原料因素恳求较高,石英砂杂质元素含量决断了石英坩埚的拉晶质料。
半导体石英坩埚及光伏石英坩埚的坐蓐均用命一致工艺流程:起首通过操纵离心力和成型装备,将石英砂原料正在挽回的石英坩埚模具内酿成必然体式和厚度,以高温电弧为热源,对石英坩埚模具内的石英砂原料举办高温熔制,熔制完结后取出石英坩埚毛坯。将石英坩埚端口朝下安排于功课平台,操纵研磨修筑或各样喷砂修筑去除石英坩埚皮相面的附砂,操纵切边倒棱修筑对中装备对石英坩埚举办校正后服从高度恳求用割断装备对石英坩埚举办割断,再服从恳求操纵内、外倒角装备,对石英坩埚割断端面举办倒角解决。切边倒棱告竣后将石英坩埚安排于化学洗刷专用修筑内,按相应工艺参数恳求对石英坩埚内、皮相面及端口举办化学洗刷,后将石英坩埚安排于干燥修筑内,按恳求对石英坩埚内、皮相面及端口残留水分举办汽化挥发。干燥告竣后可遵照客户需求,按相应工艺参数恳求,将配比好的专用(或客户指定的)质料涂覆正在石英坩埚内外面和(或)皮相面上。终末用清白的防静电塑料袋将制品密封包装,附以及格证,将告竣内包装的石英坩埚放入内嵌缓冲爱戴装备的无钉纸箱内,并将石英坩埚音信标签粘贴正在纸箱的固定标识名望。
正在石英坩埚坐蓐进程中应该编制各工序工艺文献、功课指引书,并对工艺参数和坐蓐进程恳求举办原则,正在坐蓐进程中,应该装备餍足相应恳求的各项资源,保障坐蓐进程按恳求告竣;对映现的极度景况需举办判辨评判,采用改进及防止办法,并陆续革新。