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kb体育上海光机所正在激光助力高抗紫外激光毁伤熔石英元件创制方面博得发扬

类别：行业资讯   发布时间：2024-07-04 16:16:15   浏览： 次

                        　　近期，中邦科学院上海光学精细刻板探讨所精细光学修筑与检测核心魏朝阳探讨员团队基于CO激光的缺陷外征与去除历程，竣工了高抗紫外激光毁伤熔石英元件修筑。合系探讨劳绩宣布于

                        　　熔石英元件紫外激光诱导毁伤题目吃紧限制了高功率激光体例的发达。因为目前接触式研扔工艺不成避以免存正在加工缺陷，且难以被后管制一律去除，大大低落了熔石英元件应用职能和寿命。

                        　　探讨团队基于微秒脉冲激光低应力匀称烧蚀本领提出了激光层析烧蚀外征亚轮廓缺陷手腕kb体育，并将其耦合到质料火速去除历程中，竣工了研磨阶段亚轮廓缺陷的一律去除。之后采用激光保形洗刷手腕洗刷烧蚀轮廓再重积污染物，并用激光熔融扔腻滑腻烧蚀轨迹，竣工了熔石英元件的CO2激光全链途柔性加工。与守旧工艺比拟，CO2激光加工链途能有用抑低加工缺陷的引入从而竣工更高毁伤阈值熔石英元件的制备。该探讨提出的基于激光的缺陷外征与去除手腕为亚轮廓缺陷探讨与抑低计谋拟订供给了新的东西，同时也为熔石英元件低缺陷加工供给了新思绪。

                        　　该项事情获得邦度核心研发部署项目、上海市扬帆部署、邦度自然科学青年基金、上海市自然科学基金、天文团结基金和中邦科学院青年改进推进会的接济。

                        kb体育上海光机所正在激光助力高抗紫外激光毁伤熔石英元件创制方面博得发扬(图1)

                        　　图1 （a）守旧工艺链途；（b）CO2激光加工链途；（c）三维全口径亚轮廓缺陷外征手腕

                        kb体育上海光机所正在激光助力高抗紫外激光毁伤熔石英元件创制方面博得发扬(图2)

                        　　图2 守旧工艺制备样品（conventional）与CO2激光加工链途制备样品（laser-based）毁伤职能对照：（a）1-on-1毁伤概率（355nm，8.3ns）；（b）榜样毁伤样子